ABT-1000氣浮主軸，10萬(wàn)轉(zhuǎn)半導(dǎo)體晶圓研磨工具

　　ABT-1000氣浮主軸是一款由日本Nakanishi（中西）公司生產(chǎn)的精密氣動(dòng)主軸。

       以下是關(guān)于ABT-1000氣浮主軸的詳細(xì)介紹：

　　一、主要特點(diǎn)

　　高速運(yùn)轉(zhuǎn)：ABT-1000氣浮主軸的轉(zhuǎn)速高達(dá)100,000轉(zhuǎn)/分鐘，能夠快速完成加工任務(wù)，顯著提高生產(chǎn)效率。

　　高精度加工：主軸跳動(dòng)精度在1μm以內(nèi)，確保了加工工件的精度和表面光潔度，滿足高精度加工需求。

　　長(zhǎng)壽命：采用空氣軸承技術(shù)，避免了傳統(tǒng)機(jī)械軸承因摩擦而產(chǎn)生的磨損和失效，從而延長(zhǎng)了主軸的使用壽命。

　　低噪音：空氣軸承的非接觸式結(jié)構(gòu)減少了機(jī)械摩擦和振動(dòng)，降低了加工過(guò)程中的噪音，提供舒適的加工環(huán)境。

　　環(huán)保節(jié)能：空氣軸承主軸的潤(rùn)滑介質(zhì)為空氣，無(wú)需使用潤(rùn)滑油，減少了環(huán)境污染和能源消耗。

　　二、應(yīng)用領(lǐng)域

　　半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體晶圓的研磨、切割等工藝中，ABT-1000氣浮主軸能夠提供穩(wěn)定、精確的切削性能，確保晶圓的精度和表面光潔度。

　　精密機(jī)械加工：可用于高光、銑削、鉆孔等多種精密機(jī)械加工任務(wù)，提高加工精度和生產(chǎn)效率。

　　模具制造：在模具的精密加工中，ABT-1000氣浮主軸同樣能夠提供穩(wěn)定、精確的切削性能，確保模具的精度和壽命。

　　三、產(chǎn)品參數(shù)

　　類(lèi)型：氣動(dòng)主軸

　　外徑：Φ40mm

　　最高轉(zhuǎn)速：100,000轉(zhuǎn)/分鐘

　　主軸跳動(dòng)精度：1μm以內(nèi)

　　輸出功率：88W

　　夾頭：CHA組（可夾持刀具柄徑范圍為φ0.5~φ4.0mm）

　　重量：約820g

　　軸承氣壓：0.55MPa

　　四、使用注意事項(xiàng)

　　供氣要求：空氣軸承主軸需要清潔干燥的空氣。在供氣時(shí)，需確保氣壓穩(wěn)定且空氣干燥無(wú)雜質(zhì)。

       同時(shí)，應(yīng)始終向空氣軸承供氣，即使在主軸停止時(shí)也需保持供氣狀態(tài)。

　　操作規(guī)范：在使用ABT-1000氣浮主軸時(shí)，需遵循操作規(guī)范，避免主軸和軸承在無(wú)供氣狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)或更換工具/夾頭。

      以防止損壞接觸區(qū)域并妨礙其正常工作。